产品介绍
主页 产品介绍 半导体自动化设备 太阳能自动化设备 精密加工/制作模具
설비명

Marking Machine

设备名称

Marking Machine

型号名称

M-1000

内容

Marking Machine是在没有sawing的Wafer后面进行Marking的设备。

该设备特征是利用Top Vision • Bottom Vision在Wafer Cassette内部识别没有sawing的Wafer的位置后,利用已发生的位置Data准确校订Wafer的位置并在校订的Wafer后面进行Marking。

可利用Ink-jet或者Laser方式进行Marking,并在校订Wafer位置的Workstage上利用Wafer的XYZθ轴可进行校订。